箔式镱大压力传感器的设计与制作

• 作者: 丁世敬 余尚江 姜德亚 曾辉 杨吉祥
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 镱箔 压阻特性 压力 传感器 工艺
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 19-21,18
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3262字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2004.07.003

摘要

镱材料具有压阻特性,其压阻系数比锰铜、碳等压阻材料要高得多.本文介绍了利用这一特性设计制作的箔式镱大压力传感器,并介绍了其工作原理和设计制作中的关键要点,以及在工艺上需解决的关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余尚江		6	36	4.0	6.0
2	丁世敬		2	4	1.0	2.0
3	曾辉		1	4	1.0	1.0
4	杨吉祥		1	4	1.0	1.0
5	姜德亚		1	4	1.0	1.0