真空微电子压力传感器的研制

• 作者: 刘玉奎 张正元 徐世六 杨国渝 温中泉 温志渝 陈刚
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 过载保护 场致发射阴极锥尖阵列 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 603-607
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.06.010

摘要

提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器.对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能.采用硅的干、湿法结合的腐蚀、氧化锐化和真空键合等工艺技术,成功地研制出传感器实验样品.对传感器实验样品的参数进行了测试分析,其场致发射阴极锥尖阵列密度达24 000个/mm2,起始发射电压为0.5～1 V,反向电压≥25 V,当正向电压为5 V时,单尖发射电流为0.2 nA,压力灵敏度为0.1μA/KPa.