可旁向测量的共焦式激光测头

• 作者: 李智 樊玉铭
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 旁向测量 共焦法 激光测头 非接触测量
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 402-404
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 1530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2004.06.023

摘要

本文在研究了共焦式测量原理的基础上,研制出一种含参考光路的可旁向测量的共焦式新型激光测头.这种测头舍弃了共焦式测头中的微型位移传感器,简化了系统结构,降低了成本.文中论述了其测量原理及结构,给出了测量系统的动态特性的实验结果.结果表明激光测头的测量分辨力为0.2μm,动态特性为336点/秒,测量范围为±0.1mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊玉铭	天津大学国家精密测试技术与仪器重点实验室	31	179	8.0	10.0
2	李智	天津大学国家精密测试技术与仪器重点实验室	19	176	5.0	13.0