湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

• 作者: 任锐 何知宇 朱世富 李艺星 王瑞林 罗政纯 赵北君 陈松林
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CdSe单晶体 表面钝化 XPS
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 164-167
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.008

摘要

用双氧水对CdSe单晶(110)表面进行钝化,采用X射线光电子能谱(XPS)分析了湿氧处理的CdSe(110)表面的化学特征.通过两次不同分析模式FAT(固定通能)和FRR(固定减速比)所得到的结果表明:CdSe表面出现Se偏析,表面上形成了SeOx(x＜1),SeO、Cd(OH)2和CdCO3的高电阻稳定氧化层,消除了器件表面态,可以减少器件的表面漏电流和改善其信噪比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱世富	四川大学材料科学系	151	840	14.0	20.0
2	赵北君	四川大学材料科学系	132	744	14.0	19.0
3	何知宇	四川大学材料科学系	69	221	8.0	11.0
4	王瑞林	四川大学材料科学系	46	277	9.0	15.0
5	任锐	四川大学材料科学系	14	51	5.0	6.0
6	陈松林	四川大学材料科学系	7	37	3.0	6.0
7	罗政纯	四川大学材料科学系	3	23	3.0	3.0
8	李艺星	四川大学材料科学系	4	36	4.0	4.0