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BD031 MEMS信号处理电路的研制及测试
BD031 MEMS信号处理电路的研制及测试
作者:
倪学文
吕志军
宁宝俊
张录
朱晖
田玉国
莫邦燹
郝一龙
金玉丰
项斌
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
差分电容采样
低通滤波
带宽调节
高精度运放
恒定增益输出
摘要:
本文报道了一个为电容式微加速度计传感器信号处理而设计的全集成化的BD031 CMOS MEM信号处理电路.电路设计采用了对信号的差分电容采样方式和过采样技术、前置采样放大器高增益和低噪声设计措施、可调节选通带宽的的低通滤波器及为提高电容噪声性能的带有虚开关结构的开关电容滤波器设计技术、可微调节增益(常规情况下恒定增益为2)的输出缓冲放大器、可调节振荡频率(正常情况下为800KHz)的本地CMOS时钟产生振荡器及为上述模拟电路提供基准电压和基准电流的基准电压源等设计技术、以及可以进行输入失调调节和对差分电容变化量△C的自测试电路.电路使用单一5伏电源,采用1.2微米、双多晶硅、双铝、N-阱CMOS工艺加工,芯片面积为2.82×3.61平方毫米.芯片性能测试表明其差分小电容变化量△C传感范围达到0.06pF-5pF、带宽为300Hz-5KHz.
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文献信息
篇名
BD031 MEMS信号处理电路的研制及测试
来源期刊
测试技术学报
学科
工学
关键词
差分电容采样
低通滤波
带宽调节
高精度运放
恒定增益输出
年,卷(期)
2004,(z2)
所属期刊栏目
数字信号分析与处理
研究方向
页码范围
63-68
页数
6页
分类号
TN91
字数
2305字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z2.018
五维指标
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被引次数趋势
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研究主题发展历程
节点文献
差分电容采样
低通滤波
带宽调节
高精度运放
恒定增益输出
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
测试技术学报
主办单位:
中国兵工学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1671-7449
CN:
14-1301/TP
开本:
大16开
出版地:
太原13号信箱
邮发代号:
22-14
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
2837
总下载数(次)
7
总被引数(次)
13975
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