压阻式压力传感器的温度特性研究

• 作者: 张文栋 熊继军 郭涛
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式压力传感器 温度特性 零位温度漂移 灵敏度温度漂移
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 229-231
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1398字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z1.059

摘要

本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法:在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的.