脉冲电弧蒸发源的研究

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲电弧 蒸发源 离子镀 类金刚石膜 薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 工业研究与应用
• 页码范围: 92-94
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1622字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原渐变膜的性能指标.