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摘要:
采用低压金属有机气相外延(LP-MOCVD)设备生长并制作了1.55μm AlGaInAs-InP偏振无关半导体光放大器,有源区为3周期的张应变量子阱结构,应变量为-O.35%;器件制作成脊型波导结构,并采用7°斜腔结构以有效抑制腔面反射;经蒸镀减反膜后,半导体光放大器的自发辐射功率的波动小于0.3dB,3dB带宽为50 nm,半导体光放大器小信号增益近20dB,带宽亦为50 nm.在1530-1580nm波长范围内偏振灵敏度小于0.5dB,峰值增益波长的饱和输出功率达7dBm;器件增益随温度的升高而减小,当器件工作温度从25℃升高至65℃时,增益降低小于3dB.
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文献信息
篇名 1.55μm AlGaInAs-InP偏振无关半导体光放大器及其温度特性研究
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 半导体技术 MOCVD 偏振无关 AlGaInAs-InP 应变量子阱 半导体光放大器 增益
年,卷(期) 2004,(6) 所属期刊栏目 唯象论的经典领域
研究方向 页码范围 1868-1872
页数 5页 分类号 O4
字数 3312字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.06.048
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 易新建 华中科技大学光电子工程系 102 1261 21.0 29.0
2 陈四海 华中科技大学光电子工程系 46 459 12.0 18.0
3 朱光喜 华中科技大学电子与信息工程系 420 2897 22.0 35.0
4 马宏 华中科技大学光电子工程系 9 42 5.0 6.0
8 金锦炎 武汉大学物理系 1 0 0.0 0.0
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节点文献
半导体技术
MOCVD
偏振无关
AlGaInAs-InP
应变量子阱
半导体光放大器
增益
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物理学报
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1933
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