应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 标准机械接口(SMIF) SMIF小室 自动物料处理系统(AMHS) SMIF围护,SMIF标识符
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 先进工艺设备技术
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 5068字
• 语种: 中文

摘要

鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战.为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段.本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低.关于安装和工艺判定随项目的结果评述.