基于腔结构的射频微机械谐振元件的设计

• 作者: 李应良 潘武
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械谐振器 腔结构 微细加工技术 微机械设计
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 298-304
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 字数: 4059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.03.010

摘要

对圆柱形复合腔结构微机械谐振元件进行了设计研究,提出了一种基于柱形腔结构的微机械复合谐振元件的设计方法,并对其结构及特性进行了研究.建立了复合腔结构的电磁场数学方程,腔体基于体微机械微细加工技术实现工艺设计,最后对该元件进行了仿真分析.TM010模式下,谐振腔谐振频率为24.313 299 GHz,Q值为3 529.707 890,考虑微带耦合时仿真出复合谐振元件的最佳谐振频率为24.75 GHz.仿真实验结果和理论值的平均误差不到1%,两者吻合得很好,说明了该设计的可行性.进一步改变结构参数,可获取不同谐振频率的器件,且可在腔体中填充高介电常数介质来减小器件的谐振频率,克服了以往使用腔体结构在低频段时体积过大等问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李应良	重庆邮电学院微光机电研究所	8	60	4.0	7.0
2	潘武	重庆邮电学院微光机电研究所	63	272	8.0	13.0