一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路的设计

• 作者: 刘俊 张文栋 沈三民
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度计 隧道电流 反馈放大电路
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统(MEMS)
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 1030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.008

摘要

本文研究了一种隧道式硅微加速度计隧道电流处理电路.与多数处理电路不同的是,本文以精密仪表运放为核心,设计了一种低温漂,高放大倍数的纳安级电流放大和反馈电路,该电路包括A/V转换、差分放大、信号滤波、电压跟随、电压反馈五部分组成,电路采用了尽量少的分立元件.分析了隧道电流与反馈控制电压及隧道电极问距离的关系.实验证明,该电路不但能榆测并放大纳安级的电流,而且能为隧道式硅微加速度计提供适当的反馈电压,其温漂系数小,体积小,可用作隧道式硅微加速度计隧道电流的处理电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	仪器科学与动态测试技术教育部重点实验室山西太原华北工学院电子科学与技术系	9	27	3.0	5.0
2	沈三民	仪器科学与动态测试技术教育部重点实验室山西太原华北工学院电子科学与技术系	1	0	0.0	0.0
3	张文栋	仪器科学与动态测试技术教育部重点实验室山西太原华北工学院电子科学与技术系	5	8	2.0	2.0