半导体材料加工设备的新秀--多线切割机

• 作者: 王琮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割机 导线轮 载荷传感器 工作台 定向偏转系统 智能控制 砂浆
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 新设备与新技术
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2675字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.04.019

摘要

对多线切割机各个部分的作用、原理及整机性能作了简要介绍.