电化学制备CNx薄膜及其结构表征

• 作者: 刘惠文 徐洮 阎兴斌 陈刚
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学沉积 CNx薄膜 XPS
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 732-734
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.05.029

摘要

在甲醇-尿素有机溶液中,采用电化学沉积方法,在单晶硅表面沉积得到掺氮的类金刚石薄膜.利用原子力显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱、傅立叶分光红外光度计、X射线衍射仪研究了其表面形貌和微观结构.结果表明:电化学沉积得到的薄膜表面致密,但粗糙度较大;Raman光谱中出现明显的D峰和G峰,说明薄膜中存在无定形结构的碳基质;薄膜的化学元素组成主要为C,还有少量的N,C、N之间主要以单键和双键形式相连;薄膜中存在着一定数量的β-C3N4晶相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈刚	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
2	阎兴斌	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
3	刘惠文	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
4	徐洮	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0