引线键合机工艺技术分析

• 作者: 李元升
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 热超声键合 工艺时序图 弧形
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 先进工艺设备技术
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.96
• 字数: 3544字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.022

摘要

从3个方面分析了热超声键合相关工艺技术,结合工艺时序图对键合头功能作了介绍,并对弧形的控制过程进行剖析.