低损耗SOI单模脊形光波导的制备

• 作者: 张峰 林志浪 王永进 程新利
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 脊形光波导 波导损耗
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 激光应用(通信、工业、医学和生物等)
• 页码范围: 230-232
• 页数: 3页
• 分类号: TN252
• 字数: 1982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.079

摘要

表面散射损耗与菲涅耳反射损耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波导的主要损耗机理.通过降低光波导损耗的研究,在厚膜SOI材料上制备了长度为20 mm,插入损耗小于2.15 dB的单模脊形光波导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室	149	3496	30.0	56.0
2	程新利	中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室	7	7	1.0	2.0
3	林志浪	中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室	6	6	1.0	2.0
4	王永进	中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束实验室	6	12	2.0	3.0