“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计

• 作者: 何晓平
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 敏感芯片 静电伺服 设计 批量加工 MEMS技术 频率响应 性能指标
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 224-225
• 页数: 2页
• 分类号: TP212.1

摘要

“叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点，成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工这种加速度计敏感芯片的各组件是波形加工的，无需装配，这个一次加工成型的芯片应同时满足微加速度计的多项性能指标，故设计时需兼顾多个参数。