工艺参数对铀表面铝镀层热应力分布影响

• 作者: 李瑞文 江帆 董平 陈丕恒
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热应力分布 铝镀层 分布影响 表面 工艺参数 铀 磁控溅射 使用性能
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 274
• 页数: 1页
• 分类号: O484

摘要

为了防止铀的腐蚀，采用在铀表面磁控溅射镀铝，但使用中发现铝镀层内产生了较大的应力，影响镀层结合强度及使用性能。通常认为，薄膜内的应力有热应力和生长应力两种。文中通过改变沉积温度、镀层厚度以及镀层力学性能分数，研究它们对镀层热应力分布的影响，从而为改善铀表面铝镀层内热应力分布提供理论依据。