光波导器件端面抛光装置

• 作者: 李健 李建光 王红杰 胡雄伟
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导器件 端面抛光装置 定位孔 加工精度
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 38
• 页数: 1页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建光	中国科学院半导体研究所	22	67	5.0	6.0
2	王红杰	中国科学院半导体研究所	32	93	6.0	7.0
3	胡雄伟	中国科学院半导体研究所	41	134	6.0	9.0
4	李健	中国科学院半导体研究所	92	1070	17.0	31.0