离子束辅助沉积陶瓷-金属封接

• 作者: 伍智 曾敏 杨卫英 解永蓉 邹桂娟
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷-金属封接 离子束辅助沉积 电真空器件 性能要求 封接技术 多样性 适应性 高强度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 420-421
• 页数: 2页
• 分类号: TN105

摘要

针对特种电真空器件发展对陶瓷种类的多样性和陶瓷金属封接的高性能要求，研究了高强度和适应多种陶瓷的高适应性封接技术。