真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板

• 作者: 宋航 李志明
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜系统 真空室 观察窗 转动档板 基孔
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 41
• 页数: 1页
• 分类号: TB7
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	254	8.0	15.0
2	宋航	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	37	4.0	5.0