金刚石膜中氮杂质状态的研究

• 作者: 刘建设 吕宪义 吴汉华 李哲奎 杨广亮 金曾孙
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: EA-CVD方法 金刚石膜 氮杂质
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 功能材料分析、检测、评价技术
• 页码范围: 3314-3316,3319
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.18
• 字数: 1631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.929

摘要

用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质.沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴汉华	吉林大学超硬材料国家重点实验室	34	439	12.0	20.0
2	吕宪义	吉林大学超硬材料国家重点实验室	27	302	10.0	17.0
3	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
4	杨广亮	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	17	3.0	4.0