掺硼金刚石膜的电火花加工研究

• 作者: 卢文壮 左敦稳 徐锋 王珉 黎向锋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: CVD金刚石膜 掺硼 电火花加工 可加工性
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 204-208
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|TG66
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.02.024

摘要

由于金刚石膜的加工极其困难,提出了一种通过在制备过程中掺杂使金刚石膜导电的金刚石膜精加工新工艺,利用电火花对掺杂金刚石膜进行电加工.研究了电参数对金刚石膜加工性能的影响,用SEM和Raman分析了金刚石膜电火花加工表面的形貌和成分.研究了掺硼金刚石膜电火花加工的加工机理,建立了电火花加工模型.试验结果表明,电参数对金刚石膜的加工速度、表面粗糙度有较大影响,掺杂金刚石膜的电火花加工是汽化、熔化、氧化、石墨化等多种效应的综合作用结果,通过掺杂可以显著改善金刚石膜的可加工性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮		94	520	12.0	17.0
2	左敦稳		510	3780	26.0	32.0
3	徐锋		85	541	13.0	18.0
4	王珉		205	2631	27.0	40.0
5	黎向锋		109	810	15.0	20.0