扩散硅压力传感器负热灵敏度漂移补偿方法的研究

• 作者: 刘仁 张莉丽 戎华
• 来源期刊: 化工自动化及仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 负热灵敏度漂移 补偿 负阻抗变换器
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 技改与创新
• 页码范围: 74-75
• 页数: 2页
• 分类号: TP2
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3932.2005.03.021

摘要

分析恒压源供电和恒流源供电两种情况下扩散硅压力传感器的灵敏度随温度变化的关系式,提出用负阻抗变换器补偿负热灵敏度漂移的方法.模拟结果表明补偿效果非常显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戎华		15	73	5.0	8.0
2	张莉丽		7	32	3.0	5.0
3	刘仁		4	47	4.0	4.0