碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试

• 作者: 叶枝灿 徐东 王芸 蔡炳初 钱开友 颜丙勇
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 场发射 压力传感器 阳极变形膜 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 1007字
• 语种: 中文

摘要

研制出了碳纳米管场发射压力传感器.在结构设计中提出了场发射压力传感器台阶双层阳极变形膜结构,计算机模拟证明,这种结构具有大量程与高灵敏度的优点.同时对这种结构的形变特性进行了实验测试,为传感器结构的整体尺寸设计提供了依据.最后对这种新型传感器的性能进行了测试,表明传感器的灵敏度为0.22μA/kPa(5 kPa～101 kPa).