X射线衍射分析热处理温度对透明导电膜结构与导电性能的影响

• 作者: 张方辉 韩薇 马颖
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO膜 热处理温度 X射线衍射分析 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 314-317
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2005.04.010

摘要

采用溶胶-凝胶法以铟、锡氯化物为前驱物制备不同热处理温度下的ITO膜,对制备的ITO膜样品进行X射线衍射分析.研究表明热处理温度对ITO膜的衍射峰相对强度、晶粒尺寸和晶格常数有较大的影响,随着热处理温度的增加,ITO膜随机取向增加,晶粒增大,晶格常数在400 ℃时畸变最小.热处理温度为450 ℃时ITO膜的择优取向较弱,晶粒较大,晶格畸变较小,ITO膜的方阻最小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张方辉	陕西科技大学电气与电子工程学院	150	773	13.0	20.0
2	马颖	陕西科技大学电气与电子工程学院	23	235	7.0	15.0
3	韩薇		7	49	4.0	7.0