厚二氧化硅光波导薄膜的制备

• 作者: 佟会 包洪涛 戴基智 杨亚培 罗辉 赵天卓
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 硅基 二氧化硅 溶胶凝胶法 火焰水解法 等离子体增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件与技术
• 页码范围: 48-50,55
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 3470字
• 语种: 中文

摘要

随着光通信的飞速发展,Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛.在Si基上制备高质量的厚SiO2薄膜,是制作SiO2光波导及其集成器件的基础.本文介绍了Si基厚SiO2薄膜的几种制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴基智	电子科技大学光电信息学院	53	304	10.0	14.0
2	杨亚培	电子科技大学光电信息学院	43	293	10.0	14.0
3	佟会	电子科技大学光电信息学院	4	33	3.0	4.0
4	赵天卓	电子科技大学光电信息学院	5	38	4.0	5.0
5	罗辉	电子科技大学光电信息学院	4	33	3.0	4.0
6	包洪涛	电子科技大学光电信息学院	4	34	3.0	4.0