硅粉氮化反应合成氮化硅

• 作者: 刘俊虎 张忻 李亚伟 李楠 田海兵
• 来源期刊: 硅铝化合物
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 硅粉氮化反应 合成工艺 硅粉粒度 氮化温度 成型压力 稀释剂含量
• 年，卷（期）: wjghhwtj,（2）
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127.2

摘要

研究了硅粉直接氮化反应合成氮化硅粉末的工艺因素（包括硅粉粒度、氮化温度、成型压力、稀释剂含量等），借助XRD、SEM等测试手段测定和观察了氮化产物的物相组成和断口形貌。研究结果表明：硅粉在流动氮气氛下，高于1200℃氮化产物中氮含量明显增加；在氮化反应同时还伴随着硅粉的熔结过程，它阻碍硅粉的进一步氮化，其影响程度与氮化温度、氮化速度，素坯成型压力及硅粉粒度等工艺因素有关。在硅粉素坯中引入氮化，其影响程度与氮化温度、氮化速度，素坯成型压力及硅粉粒度等工艺因素有关。在硅粉素坯中引入氮化硅作为稀释剂，提高了硅粉的氮化率，使产物中残留硅量降低；同样在实际生产中可以通过控制适当热处理制度（如分段保温、慢速升温），达到硅粉的完全氮化。在生产中批量合成了含氮量为32．5％，残留硅量为0．05％，主要为α相，含少量β相的针状、柱状的氮化硅。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李亚伟		106	647	12.0	20.0
2	李楠		190	1799	21.0	30.0
3	张忻		8	74	3.0	8.0
4	田海兵		3	49	1.0	3.0
5	刘俊虎		4	54	2.0	4.0