悬臂梁接触式RF-MEMS开关的制作研究

• 作者: 孙建海 崔大付 徐磊 王利 王海宁 苏波
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 RF-MEMS开关 驱动电压
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: TM564
• 字数: 2382字
• 语种: 中文

摘要

报道了悬臂梁接触式RF-MEMS开关的设计、制作和测试结果.整个工艺采用表面微机械加工技术,利用正胶作为牺牲层.其中开关的悬臂梁采用了"三明治"式的结构,即上下两层为SiO2,中间夹着一层Cr/Au合金,这种结构可使梁合为一体,且具有很好的机械性能.对350 μm长、200 μm宽、1.7 μm厚、且距底电极为2.5 μm的悬臂梁开关进行测试,其驱动电压约为20 V,在同类开关中是较低的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
2	徐磊	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	58	354	11.0	16.0
3	孙建海	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	20	82	6.0	8.0
4	王利	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	57	381	11.0	17.0
5	苏波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	25	831	11.0	25.0
6	王海宁	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	10	80	7.0	8.0