微机电系统中的微观黏滑、黏附与控制

• 作者: 孟永钢 张向军 温诗铸
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微观摩擦 黏滑 黏附
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.7|O313.5
• 字数: 3509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.02.003

摘要

微观黏滑和黏附失效是微机电系统中的常见现象,该现象主要是由于受包括静电力、范德华力及毛细力等各种表面力所起的主导作用而产生的.采用黏着接触理论和运动分析方法,得到了微观摩擦试验中黏滑出现的无量纲黏滑数,表微观黏滑是接触表面特性、形貌参数、接触载荷及滑动速度等综合作用的结果,进而获得黏滑现象的各种临界参数,提出了黏滑行为控制的表面修饰与形貌设计依据;针对微构件的黏附失效,采用Laplace公式并结合微构件的变形分析,探究了毛细力作用下微构件的变形特征与失稳行为,发现其变形过程中存在着不稳定的临界点,对应黏附行为的发生,进而提出了微构件防黏附的结构设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温诗铸	清华大学摩擦学国家重点实验室	156	3364	28.0	50.0
2	孟永钢	清华大学摩擦学国家重点实验室	94	907	17.0	24.0
3	张向军	清华大学摩擦学国家重点实验室	49	266	10.0	14.0