扰动法非线性晶体生长过程数值模拟研宓

• 作者: 李敏远 王岩
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 扰动法 数值模拟
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 19-24
• 页数: 6页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 5045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.08.007

摘要

采用扰动法对使用Cz(Czochralski)法非线性晶体生长过程中提拉速度和熔液平均温度场进行了数值模拟研究,实验结果可用于实现晶体等径生长中提拉速度和熔液平均温度的预测控制.研究表明,熔液平均温度(提拉速度)不变时,提拉速度(熔液平均温度)随环境毕奥数的增加和/或熔液毕奥数的减小而增大.进一步研究,熔液若不会组分过冷,可以得到提拉速度的最大值,并在整个生长过程中,必须控制提拉速度小于它的临界上限,否则晶体生长过程将失败.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王岩	西安理工大学自动化与信息工程学院	6	16	3.0	4.0
2	李敏远	西安理工大学自动化与信息工程学院	46	454	12.0	19.0