锐钛矿TiO2薄膜的制备及其紫外光电导性能研究

• 作者: 姚宁 张兵临 张利伟 杨仕娥 樊志琴 鲁占灵
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 直流反应磁控溅射 锐钛矿TiO2薄膜 光响应
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.01.011

摘要

采用直流反应磁控溅射的方法, 溅射高纯钛靶在ITO石英衬底上制备了TiO2薄膜.用Raman光谱、AFM和紫外-可见光分光光度计分别测试了TiO2薄膜的结构、表面形貌和紫外-可见光吸收谱,研究了工艺因素中溅射气压、氧氩比和退火温度对薄膜结构的影响.采用C(胶)/TiO2/ITO三层结构研究了锐钛矿TiO2薄膜的紫外光响应.实验结果表明:较低的溅射气压、合适的氧氩比和较高的退火温度有利于锐钛矿TiO2薄膜的结晶.在2V的偏压下,锐钛矿TiO2薄膜的紫外光响应上升弛豫时间约为3s,稳定光电流可达到2.1mA,对紫外光的灵敏性和稳定的光响应表明TiO2薄膜有可能成为一种新的紫外光探测器材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	鲁占灵	郑州大学材料物理教育部重点实验室	25	166	8.0	11.0
4	杨仕娥	郑州大学材料物理教育部重点实验室	68	513	12.0	18.0
5	张利伟	郑州大学材料物理教育部重点实验室	10	109	7.0	10.0
6	樊志琴	郑州大学材料物理教育部重点实验室	9	77	6.0	8.0