电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

• 作者: 乔俊仙 余国彬 王肇志
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 精密工件台 结构设计 几何精度
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 11-13,21
• 页数: 4页
• 分类号: TH113.2
• 字数: 1998字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.06.004

摘要

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性.论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余国彬	中国科学院光电技术研究所	22	129	7.0	10.0
2	乔俊仙	中国科学院光电技术研究所	5	11	2.0	3.0
6	王肇志	中国科学院光电技术研究所	9	49	4.0	6.0