一种热丝法生长金刚石的方法

• 来源期刊: 工业金刚石
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 热丝法 化学汽相沉积 真空室
• 年，卷（期）: gyjgs,（2）
• 页码范围: 42
• 页数: 1页
• 分类号: TQ163

摘要

本发明属于化学汽相沉积技术，特别是涉及采用热丝法汽相沉积大面积金刚石膜的方法。本发明为了有效地利用真空室，节省电耗及气体，有效的生长大面积金刚石膜，从而提供一种由一根或多根W钨丝竖直悬挂在反应室顶，待沉积基材相对于W丝竖直悬挂在W钨丝周围的排列方式，通入反应介质，