薄膜X射线应力分析的实验方法

• 作者: 刘毓舒
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜材料 X射线应力分析 低掠入射X射线束 三维定向模式 测量方向
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 实验技术与方法
• 页码范围: 447-450
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.22
• 字数: 2553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2005.09.005

摘要

提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向.高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘毓舒	上海交通大学材料科学与工程学院教育部高温材料及测试开放实验室	5	25	3.0	5.0