单晶炉勾形磁场设计参数实验验证

• 作者: 安涛 李守智 高勇
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有限元 勾形磁场 单晶炉 磁感应强度
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 296-300
• 页数: 5页
• 分类号: TP15
• 字数: 3848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.2005.03.018

摘要

通过模拟方法得到8英寸单晶炉(16英寸坩埚)勾形磁场的设计参数,并对磁场参数的模拟结果进行了实验验证.结果表明:磁场参数及其分布均满足晶体生长要求,磁场参数的模拟结果与实验结果吻合较好.该模拟方法可用于勾形磁场的实际设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高勇	西安理工大学自动化与信息工程学院	189	1184	15.0	26.0
2	安涛	西安理工大学自动化与信息工程学院	50	182	7.0	11.0
3	李守智	西安理工大学自动化与信息工程学院	34	376	9.0	18.0