微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究

• 作者: 刘奎 姜澄宇 苑伟政 邓进军 马炳和
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微型传感器 热敏元件 薄膜电阻 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 202-204
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.069

摘要

应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和		33	167	7.0	11.0
2	苑伟政		70	351	10.0	14.0
3	姜澄宇		65	883	18.0	28.0
4	邓进军		18	57	4.0	6.0
5	刘奎		3	105	2.0	3.0