纳机械谐振器的非线性特性分析

• 作者: 于虹 朱年勇 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 纳机械谐振器 非线性效应 达芬方程 洛仑兹力
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TN40|TN405
• 字数: 1459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.01.009

摘要

纳机械谐振器有几百兆甚至更高的工作频率,本文利用达芬方程作为纳机械谐振器的动力学方程,用数值方法求解了电磁驱动纳机械谐振器的动态特性,计算表明谐振器有明显的非线性特性,与国外已有的实验结果相符合,该分析方法可以为纳机械混频器设计提供参考.