交错振动式微型电场传感器

• 作者: 夏善红 白强 陈绍凤 陶虎 龚超
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 电场传感器 微机电系统 交错振动式 有限元
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 188-190
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.064

摘要

介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感器.与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性.传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动电压下获得较大的振动幅度,降低了驱动对输出的串扰,从而提高了器件的信噪比.试验结果表明,传感器的分辨率优于100V/m,为目前微型电场传感器中最高水平.介绍了此种传感器的结构、原理,以及传感器样品的测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	白强	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	11	159	8.0	11.0
3	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
4	龚超	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	74	4.0	5.0
8	陶虎	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	3	15	2.0	3.0