溶胶-凝胶生长(111)择优取向的MgO薄膜

• 作者: 叶辉 曹晓燕
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MgO薄膜 溶胶-凝胶法 择优取向
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 无线电电子学、电信技术
• 页码范围: 461-464,470
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 2325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2005.04.001

摘要

用一种简单的方法制得MgO的前驱溶液并用溶胶-凝胶法在Si(100)和Si(111)衬底上制备出(111)择优取向的MgO薄膜.使用X射线衍射曲线、摇摆曲线、原子力显微镜图来研究薄膜的微结构与基板取向、退火温度、薄膜厚度之间的关系.结果表明,在退火温度高于500℃时结晶,Si衬底的取向对MgO薄膜的取向没有显著影响.同时,退火温度的升高和薄膜厚度的增加都能使MgO(111)的择优取向性越来越好;Si的易氧化是导致镁醇盐经过高温分解结晶形成MgO(111)择优取向的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶辉	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	50	406	9.0	18.0
2	曹晓燕	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	5	22	3.0	4.0