ITO废靶回收再生技术

• 作者: 侬健桃 黄瀚
• 来源期刊: 中国资源综合利用
• 学科: 工学
• 关键词: ITO废靶 铟 回收
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.057
• 字数: 2645字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-9500.2005.02.007

摘要

用磁控溅射法制备ITO膜所留下的ITO废靶料是一种经高压高温成型的铟、锡氧化物陶瓷烧结体,它耐腐蚀耐高温,但富含稀有金属铟,其回收再生技术特别是其中的铟、锡分离复杂,本文介绍几种回收方法并加以评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄瀚		4	35	3.0	4.0
2	侬健桃		4	76	3.0	4.0