硬质合金CVD金刚石涂层工具衬底前处理技术研究

• 作者: 吕反修 唐伟忠 张玉英 来清民 苗晋琦
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硬质合金 两步法 表面前处理 金刚石涂层 附着力
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 374-379
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 1942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.038

摘要

本研究采用KOH:K3[Fe(CN)6]:H2O和H2SO4:H2O2两种溶液浸蚀硬质合金衬底,分别选择刻蚀WC和Co.并在浸蚀过的硬质合金衬底上,用强电流直流伸展电弧等离子体CVD法沉积金刚石涂层.研究表明,两步混合处理法不仅可以有效的去除硬质合金基体表面的钴,而且,还可显著粗化硬质合金衬底.因此,提高了金刚石薄膜的质量和涂层的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修		151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠		106	860	16.0	21.0
3	来清民		24	117	7.0	10.0
4	张玉英		15	68	5.0	8.0
5	苗晋琦		4	20	3.0	4.0