热丝CVD金刚石涂层硬质合金衬底两步法预处理的研究

• 作者: 刘海涛 向道辉 杨广斌 梁松 马德印
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 两步法预处理 硬质合金 热丝化学气相沉积法
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 25-28
• 分类号: TQ164|TG74
• 语种: 中文

摘要

研究了引入超声振动后酸碱两步法预处理对硬质合金衬底表面去Co催石墨化作用.采用偏压增强辅助热丝化学气相沉积(HFCVD)法,在硬质合金衬底上沉积了一层均匀、光滑的金刚石薄膜.研究结果表明:在酸碱两步法预处理过程中引入超声振动,能够有效的去除硬质合金衬底表面的Co元素,衬底表面发生了明显的粗化；采用Murakami试剂超声振动20 min腐蚀WC相,再用V(H2SO4)∶V(H2O2)=3∶7混合溶液超声振动30 s去除Co相,金刚石薄膜形核密度高、结晶质量好.这说明了超声酸碱两步法预处理能够有效的抑制钴对金刚石薄膜的不利影响,对提高金刚石薄膜与基体之间的附着力起着非常重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向道辉	河南理工大学机械与动力工程学院	23	112	6.0	10.0
2	梁松	河南理工大学机械与动力工程学院	4	26	3.0	4.0
3	刘海涛	河南理工大学机械与动力工程学院	1	11	1.0	1.0
4	杨广斌	河南理工大学机械与动力工程学院	1	11	1.0	1.0
5	马德印		1	11	1.0	1.0