光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响

• 作者: 孙方宏 张志明 王勇 陈明 马玉平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 刚石薄膜 渗硼 光滑 附着力
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 545-548
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 2729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.05.028

摘要

提高金刚石薄膜的附着力和光洁度是实现CVD金刚石涂层在工模具和耐磨器件领域中广泛应用的关键因素.采用热丝CVD法在光滑WC-Co硬质合金基体表面沉积金刚石薄膜,研究了渗硼预处理新方法对光滑衬底表面抑制Co催石墨化作用和保证金刚石涂层附着力的效果.研究结果表明,采用渗硼预处理方法既能避免研磨、刻蚀和化学腐蚀等加工方法对光滑衬底表面的严重损伤,又能有效抑制Co对金刚石薄膜的不利影响,获得了满足附着力要求的光滑金刚石薄膜,对于拓宽金刚石薄膜的应用领域具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏		91	969	17.0	25.0
2	陈明		192	1907	22.0	35.0
3	王勇		137	795	16.0	22.0
4	马玉平		13	101	7.0	9.0
5	张志明		46	553	15.0	21.0