CVD金刚石涂层硬质合金衬底预处理新方法研究

• 作者: 孙方宏 陈明 马玉平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 衬底预处理 两步法 复杂形状 偏压增强热丝CVD
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 1-4,12
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2009.01.001

摘要

本文研究了甲醇预处理方法对硬质合金衬底表面抑制Co催石墨化作用.将甲醇预处理方法融入到传统的两步处理方法中,提出了新的两步预处理方法,通过电镜和EDX等手段对预处理后的衬底表面形貌、成分进行了分析.采用偏压增强热丝CVD(HFCVD)法,在预处理后的衬底表面成功沉积了金刚石薄膜.并以制做钻头为例,验证了两步法对复杂形状衬底的预处理及金刚石薄膜制备效果.研究结果表明:采用甲醇预处理方法能够有效抑制Co对金刚石薄膜的不利影响,新的两步预处理方法既能保证金刚石薄膜与衬底之间的附着强度,又非常适用于复杂形状整体式回转硬质合金刀具、拉拔模具等衬底,对于拓展金刚石涂层在涂层刀具领域的应用具有一定的参考作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	陈明	上海交通大学机械与动力工程学院	192	1907	22.0	35.0
3	马玉平	安徽建筑工业学院机械与电气工程学院	17	79	5.0	8.0