钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
自动化技术与计算机技术期刊
\
微电子学与计算机期刊
\
微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构
微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构
作者:
张大成
王阳元
贺学锋
阮勇
原文服务方:
微电子学与计算机
MEMS
阳极键合
键合强度
剪切力
硅深刻蚀
感应耦合等离子体
抗扭强度
摘要:
在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术.由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内,传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一.文章提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试.实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的正方形,其边长从6μm到120μm,计算得出的剪力与采用实体单元有限元分析结果计算出的作用力相对误差为4.9%,这一误差在工程中是可以接受的.实验得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线.MEMS器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积.
下载原文
收藏
引用
分享
推荐文章
微米尺度气隙放电击穿电压及放电路径的分析
微米间隙
变气压
平台期
长路径击穿
离子增强场致发射
微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究
阳极键合
硅深刻蚀
键合强度
最大抗扭强度
多级孔道纳米尺度TS-1的制备及性能评价
晶种辅助
分子筛
纳米粒子
多级孔道
淀粉
氧化
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用
微电子机械系统
键合
微悬臂梁
强度
内容分析
文献信息
版权信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构
来源期刊
微电子学与计算机
学科
关键词
MEMS
阳极键合
键合强度
剪切力
硅深刻蚀
感应耦合等离子体
抗扭强度
年,卷(期)
2005,(8)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
110-113
页数
4页
分类号
TN4
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-7180.2005.08.029
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
贺学锋
北京大学力学与工程科学系
3
13
2.0
3.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
版权信息
全文
全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(4)
节点文献
引证文献
(10)
同被引文献
(7)
二级引证文献
(41)
1988(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1990(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1996(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2003(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(1)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2005(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2007(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2008(5)
引证文献(2)
二级引证文献(3)
2010(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2012(4)
引证文献(1)
二级引证文献(3)
2013(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2014(5)
引证文献(0)
二级引证文献(5)
2015(8)
引证文献(0)
二级引证文献(8)
2016(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2017(5)
引证文献(1)
二级引证文献(4)
2018(7)
引证文献(0)
二级引证文献(7)
2019(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2020(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
MEMS
阳极键合
键合强度
剪切力
硅深刻蚀
感应耦合等离子体
抗扭强度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微电子学与计算机
主办单位:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-7180
CN:
61-1123/TN
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1972-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
9826
总下载数(次)
0
总被引数(次)
59060
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
信息技术
期刊文献
相关文献
1.
微米尺度气隙放电击穿电压及放电路径的分析
2.
微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究
3.
多级孔道纳米尺度TS-1的制备及性能评价
4.
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用
5.
纳米尺度激光紧聚焦光穿孔技术
6.
ZnO纳米线阵列微米条带结构的尺度可控生长实验研究
7.
考虑强度和疲劳寿命影响的层合复合材料结构优化分析
8.
纳米尺度并列双圆柱绕流的分子动力学模拟研究
9.
交联聚乙烯电缆绝缘中不同尺度缺陷结构综述
10.
微米尺度线电极的电化学腐蚀法制备
11.
涂碳前后SiC纤维的强度测试和评价
12.
基于静电力显微镜的绝缘体表面电荷微纳米尺度测量系统
13.
微/纳米尺度构件力学性能测试技术研究
14.
米尺度裂隙岩体模型水流-传热试验的数值模拟分析
15.
超深亚微米工艺下基于热量分区的SoC热感知测试调度方法
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
微电子学与计算机2023
微电子学与计算机2000
微电子学与计算机2001
微电子学与计算机2002
微电子学与计算机2003
微电子学与计算机2004
微电子学与计算机2005
微电子学与计算机2006
微电子学与计算机2007
微电子学与计算机2008
微电子学与计算机2009
微电子学与计算机2010
微电子学与计算机2011
微电子学与计算机2012
微电子学与计算机2013
微电子学与计算机2014
微电子学与计算机2015
微电子学与计算机2016
微电子学与计算机2017
微电子学与计算机2018
微电子学与计算机2019
微电子学与计算机2020
微电子学与计算机2022
微电子学与计算机2005年第10期
微电子学与计算机2005年第2期
微电子学与计算机2005年第7期
微电子学与计算机2005年第1期
微电子学与计算机2005年第3期
微电子学与计算机2005年第8期
微电子学与计算机2005年第11期
微电子学与计算机2005年第5期
微电子学与计算机2005年第9期
微电子学与计算机2005年第12期
微电子学与计算机2005年第6期
微电子学与计算机2005年第4期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号