非致冷热释电红外探测器敏感元的研究

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 非致红外探测器 敏感元 光刻 剥离
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 658-661
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|TM221
• 字数: 3434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.06.021

摘要

非致冷热释电红外探测器由于具有光谱响应宽、无需致冷等显著优点,近年来成为红外成像领域的研究热点,其结构中最关键的部分是敏感元.研究敏感元材料的制备、结构和性能,采用半导体光刻工艺和化学腐蚀的方法成功地对PZT铁电薄膜进行刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	苏州科技学院电子与信息工程系	21	63	6.0	7.0