扩散硅压力传感器热灵敏度漂移补偿方法的研究

• 作者: 刘仁 张莉丽 戎华
• 来源期刊: 仪器仪表标准化与计量
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 热灵敏度漂移 补偿
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 论述与研究
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5611.2005.03.007

摘要

分析了恒压源供电和恒流源供电两种情况下扩散硅压力传感器的灵敏度随温度变化的关系式,提出了用软件补偿其热灵敏度漂移的计算方法,并且就恒流源供电且灵敏度温度系数大于零的情况,推出了用并联电阻补偿热灵敏度漂移时,并联电阻阻值的计算公式,模拟结果表明补偿效果非常显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戎华		15	73	5.0	8.0
2	张莉丽		7	32	3.0	5.0
3	刘仁		4	47	4.0	4.0