一种微位移促动器的设计和检测

• 作者: 李国平 苗新利
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移促动器 误差分析 校正 检测 传动机构
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 332-338
• 页数: 7页
• 分类号: TH703.6|TH751
• 字数: 2836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.03.014

摘要

设计制造了一套微位移促动器并进行了检测.比较了常用的实现高精度、大行程的微位移机构的工程方法,并结合大天区面积多目标光纤光谱天文望远镜(LAMOST)微位移调节机构的实现原理,采用步进电机驱动减速器、精密丝杆型式,及高精度的杠杆缩放结构,实现了高精度、大行程的微位移促动器.根据该传动机构的特点,对机构的误差进行了分析,通过计算机查表校正丝杆的传动误差.双频激光干涉仪的检测结果表明该微位移促动器在行程范围内灵敏度达到了201 nm±48 nm,步长为10μm,单向精度达到了标准偏差237 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国平	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	21	240	11.0	15.0
2	苗新利	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	1	14	1.0	1.0