石英晶体监控膜厚仪的发展与应用

• 作者: 占美琼 范正修 谭天亚 贺洪波 邵建达
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 关键词: 石英晶体振荡法 薄膜厚度 原理
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 光电子应用与市场
• 页码范围: 57-59,11
• 页数: 4页
• 字数: 3427字
• 语种: 中文

摘要

石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法,与工作波段无关,设置简单,各种厚度皆可控制,易于实现自动控制,将会越来越广泛地应用在光学薄膜厚度监控中.本文首先介绍了石英晶体监控膜厚仪监控光学薄膜厚度的原理,然后讨论了石英晶体监控仪的发展和晶振片的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	贺洪波	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	491	16.0	19.0
4	谭天亚	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	60	4.0	4.0
5	占美琼	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	85	5.0	6.0