CVD SiC先驱体的研究进展

• 作者: 张长瑞 李斌 胡海峰
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: SiC CVD 先驱体
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 结构材料与表面处理
• 页码范围: 363-365
• 页数: 3页
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2005.z1.118

摘要

从CVD法制备SiC的传统先驱体的缺陷和不足出发,较详细地介绍了目前常用的先驱体体系及先驱体的发展趋势,并归纳新型先驱体应具备的特点.